第143章 雙工件臺的設想

    在實驗室內，蘇遠山遇到了意想不到的人。

    “鄭叔？”

    鄭振川正帶著研究員站在原子力顯微鏡前觀察著什麼，這讓蘇遠山頗有些驚訝。按理說鄭振川這邊用不著原子力顯微鏡的。

    蘇遠山建的物理實驗室當然不是隻有他自己用，而是統一歸於科技園實驗室中心管理。任何人只要打個申請就能使用。

    “我來分析一下第一次曝光後的硅晶圓表面。”鄭振川呵呵笑道。

    “喔，那你們繼續。”蘇遠山決定不打擾對方。

    “沒事，我們已經弄完了。”鄭振川走向蘇遠山，想了想道:“小蘇，你上次提到的雙工件臺設想，我們所裡考慮了一下，發現難度很大，感覺根據現有的條件走不通。但一旦實現的話，確實對於光刻機來說，會是一個極大的提升。”

    “嗯，沒錯。終於走不走得通……”蘇遠山笑了笑:“我們先不忙考慮其他，僅從設計角度上來說，可以設計出這樣的機械裝置來配合光刻機嗎？”

    鄭振川笑道:“這當然可以，只要是機械，就沒有設計不出來的。無非是精度、效率、體積罷了。”

    “那不就結了？”蘇遠山攤手:“總得先試試，精度效率先不管，先管體積，先搞出來再說。”

    “只是那非一朝一夕啊。”

    “慢慢來嘛。”蘇遠山呵呵一笑:“我出錢的都不著急呢，這玩意哪怕十年弄出來也沒啥。但只要弄出來了，那就是大殺器，對吧？”

    鄭振川笑著點了點頭:“確實。”

    蘇遠山呵呵一笑。

    asml之所以橫掃全球，除了率先搞出193nm浸潤式光刻機之外，雙工件臺也是它的獨門絕活。國內是直到2020年了才搞了出來……

    蘇遠山知道這些技術的難度，所以他壓根不急，而且也沒有辦法著急。

    遠芯現在的研發底子和投入絕對是國內企業的頂級水準，但比起國外，還真的有差距。

    這個差距不是體現在投入，而是體現在人才方面。

    國外一來有著技術積累優勢，二來有著知識積累的優勢，還有著廣納人才的優勢。而遠芯這邊，除了芯片設計領域之外，其他領域都只有靠蘇遠山的“前瞻眼光”來完成超越。